精密气浮转台

QFR系列气浮转台

QFR系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。QFR的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。

产品特点:


<<  闭式气浮轴承结构

<<  直驱驱动,零齿槽效应

<<  高速度稳定性

<<  纳米级跳动误差

<<  重复定位精度±0.5角秒


背景介绍

       QFR系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。QFR的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。

 

密封式设计

       对QFR直驱旋转台进行了优化设计,使工作台面降到最低,这种设计结构有效的降低了工作点的高度,最大减少了因与其他轴叠层安装引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重,不仅有较低的轴向和径向端跳误差,而且倾角误差比较小,由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴,有利于各种应用。

 

非接触式结构

        QFR采用无齿槽无刷电机和气浮轴承,极大的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计,以最小的热量产生高扭矩输出,无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。

 

高精度性能

       气浮转台采用精密圆光栅反馈,先进的驱动控制对光栅栅距细分,分辨率0.01角秒,轴向跳动误差<80nm。

 

定制化设计

       气浮转台可安装滑环,用于测试速度稳定性,MEMS和惯性导航等应用。


规格指标

型  号

QFR-100

QFR-200

QFR-300

行程(deg)

360°连续转动

台面直径(mm)

100

200

300

定位精度

(arc-sec)

±2

重复定位精度

(arc-sec)

±0.5

最大速度(rpm)

300

轴向跳动(nm)

60

80

径向跳动(nm)

100

分辨率(arc-sec)

0.01

摆动(urad)

3

负载(Kg)

50

工作气压(MPa)

0.5±0.05

注:1. 空气供应需清洁,干燥至0°F露点,灰尘颗粒过滤≤0.25um或纯度99.99%氮气。

       2. 以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上25mm处,测试环境温度20±1℃,湿度40%-60%RH.

外形尺寸

image.png                                              

型号

S

C

D

QFR-100

130mm

95mm

100mm

QFR-200

230mm

95mm

200mm

QFR-300

330mm

95mm

300mm

QFR系列气浮转台



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